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2019年注定是属于集成电路的一年。2018年中兴事件不过是一个触发点，2019年的华为事件让中国人的芯片之痛再一次发作。大国梦不仅需要资本和模式的不断翻涌，更需要这种关键性实业的支撑。
芯思想研究院特此推出《造芯记》专栏，回顾中国各省的晶圆制造业历程，本文主要提及8英寸和12英寸生产线，而设计和封测均一笔带过。
 
今天谈谈浙江省。浙江省简称“浙”，是吴越文化的发源地，位于中国东南沿海，是中国经济最活跃的省份之一，形成了具有鲜明特色的“浙江经济”，2018年GDP排名全国第四。
 
浙江省的造芯史可以追溯到1980年代，从当时国营871厂在浙江绍兴建立集成电路分厂开始，播洒下浙江省集成电路发展的火种。40年来，浙江的集成电路产业形成以杭州、宁波为引领，绍兴、嘉兴、衢州、金华等地特色发展的“两极多点”格局。2018年浙江省集成电路产业规模超过500亿元。
 
为深入贯彻落实《国家集成电路产业发展推进纲要》，2017年12月浙江省政府出台了《关于加快集成电路产业发展的实施意见》，在《实施意见》中提出积极发展集成电路设计业，做强特色工艺集成电路制造产业，做精特色集成电路工艺材料产业，做大集成电路制造业和封装测试，并发展配套相关产业，预计到2020年，全省集成电路相关产业突破1000亿元目标。并特别提出“实施集成电路制造跃升工程”，支持有条件的地方规划布局和建设8英寸和12英寸生产线，融入国家集成电路制造产业发展布局，引进16/14纳米以下产线，力争到2020年实现12英寸先进集成电路生产线零的突破。
 
下面让我们一起去探究浙江省的造芯历程。
 
一、华越“芯”火种
 
“华越”坐落于中华的古越大地，承载了老一辈半导体人的心血；38年的产业历程，为浙江乃至全国的集成电路产业培养了大批人才，比如杭州士兰微、芯谷科技、芯装科技、宏邦电子等公司的创始团队都在华越工作过，他们至今仍奋斗在祖国集成电路产业前线。
 
改革开放后，国营871厂为谋求更大发展，在1980年东进浙江，投资200万元引进3英寸集成电路关键生产设备，在绍兴建立集成电路分厂，生产线于1984年开始投产LSTTL电路，从此点燃了浙江省集成电路制造业的火种。为了企业的做大做强，经过改制，1992年更名绍兴华越微电子有限公司，同时生产线经过多次改造、扩建，于1998年建设完成5英寸生产线，生产能力进一步提升。
 
1980至1990年代，华越和无锡华晶都属于我国的明星企业，绍兴人以进入华越厂工作为荣。
 
在2000年后，华越计划发展8英寸晶圆制造线，但由于当年绍兴强调“纺织立市”，晶圆制造这种高投入、高风险的项目没有受到重视，导致华越错失了发展的良机，加上技术人员外流严重，华越开始走下坡路了。但瘦死的骆驼比马大，尽管是5英寸产线，华越的双极、铝栅CMOS、VDMOS、SBD、FRD、CRD等工艺对绍兴当地的集成电路设计公司的发展支撑明显。
 
令人扼腕的是，2018年5月25日，华越突然宣布关停生产线，让中国半导体业界为之震惊。回首当年华越的辉煌时代，不忍令人唏嘘。
 
二、士兰“芯”火传
 
2017年3月，士兰微旗下士兰集昕8英寸生产线产出第一片合格芯片，标志着士兰微迈入新的发展里程碑。这是浙江省第一条8英寸正式投产的晶圆制造线，也是我国第一条由民营企业投资建设的8英寸晶圆制造线。
 
士兰集昕8英寸生产线定位于高压集成电路特色工艺、高压高功率半导体功率器件芯片和MEMS传感器的研发和生产；规划月产能40000片。2017年6月正式投入量产，目前基本实现满载。为了实现规模生产，已经开始8 英寸二期建设。
 
作为国内领先的自主综合性半导体厂商，士兰微成立于1997年，从集成电路芯片设计业务开始，逐步搭建了特色工艺的芯片制造平台并延伸至功率模块和MEMS传感器的封装领域，建立了较为完善的IDM经营模式。
 
士兰微公司创始人“士兰七君子”陈向东、范伟宏、郑少波、江忠永、罗华兵、宋卫权、陈国华都来自华越微电子，有着长期从事集成电路设计和制造的从业经验，都深知特色工艺产品设计和制造衔接的重要性。为了解决委外生产的不确定性危险，公司决定快速进入晶圆制造领域，于2001年投资成立士兰集成，从事晶圆制造业务，公司首条6英寸晶圆制造线于2002年完成建设并顺利投产，这也是浙江省历史上的首条6英寸生产线，也是我国第一条由民营企业投资建设的6英寸晶圆制造线。
三、湖州“芯”茫然
 
进入2000后，随着18号文件的发布，极大的刺激了我国集成电路产业的发展。湖州也试图借助集成电路项目进行产业结构升级。于是，元泰晶圆制造项目进入了湖州的视线。
 
2002年，江南古城湖州南浔有关部门对外发布信息称，浙江省最大的集成电路制造项目元泰集团正式落户南浔经济开发区。元泰集团于2002年6月在湖州设立浙江元泰集成电路制造有限公司，计划在湖州投资建设集成电路晶圆制造项目，一期投资1.2亿美元建设月产能5万片6英寸0.35微米晶圆厂，二期投资3亿美元建设8英寸0.25微米晶圆厂，投产后，80%出口。
 
湖州方面为了促成这个最大的集成电路项目，在南浔经济开发区免费提供2000亩土地，提供1：1贴息贷款，且由当地财政支付贷款70%的利息。为引进元泰项目，当地还投资2个多亿元建设了占地25万平方米的热电厂；投资1个多亿元建变电所。
 
湖州方面在2003年发现，“热恋”中的女朋友元泰集团突然“飞”到了上海嘉定。2003年1月茂基半导体制造（上海）有限公司第一次走入公众视野，其公布的投资计划同在浙江湖州一样，总投资额为4.2亿美元；采用6英寸0.35英寸制程技术，并将在合适的时候导入8英寸生产线；茂基是上海市嘉定区引进的第一条半导体生产线。
 
都说女人心海底针。2004年2月，英泰半导体制造（郑州）有限公司成立，英泰为河南半导体业的发展描绘了一个诱人的画面：投资2.29亿美元建设6英寸0.35微米的晶圆厂，月产能5万片，80%出口。
 
这三个项目可谓是异曲同工，从浙江到上海再到河南，其背后都是同个马来西亚籍华人。
随着元泰项目的离去，湖州的造芯梦也一去不返。
四、宁波“芯”缘续 
 
宁波的造芯史可以追溯到2002年。进入2000年后，随着18号文件的发布，极大的刺激了我国集成电路产业的发展。宁波也试图借助集成电路项目进行产业结构升级。
 
当时宁波有三个晶圆制造项目启动，一个是明华微电子5英寸项目，一个是中纬积体的6英寸项目，一个是中宁微电子的8英寸项目。
 
明华微电子5英寸项目起源于4英寸项目，2003年初决定与美国IMP公司进行合作，并将4英寸产线改为建设5英寸产线，于2004年顺利投产，原为IDM企业，主要有模拟高压CMOS和BiCMOS工艺，后转为代工公司。并于2016年将设备和知识产权出售给中芯宁波。
 
中纬积体6英寸项目是由台湾人蔡南雄和冯明宪筹建，收购台积电一厂的6英寸设备。2004年投产后不久就陷入产能爬坡、良率等诸多问题中，导致现金流一直无法平衡，于2008年出售给比亚迪。
 
中宁微电子8英寸项目开始于2003年。在说中宁前，要说一下其核心筹备人李康智。李康智毕业于台湾清华大学核工系，后在美获得材料工程博士后，先后在仙童半导体、英特尔担任工程师，1990年代加台湾后，在德碁、联电累积了几年半导体工厂经验，并从处长、协理一直干到副总。2001年来到大陆参与宏力半导体的筹备，2003年离开宏力，开始寻求新项目。2003年11月，由李康智负责筹备的中宁微电子项目落户宁波，计划投资9亿美元建设8英寸生产线。宁波非常重视此项目，2004年3月22日，市政府专门成立了“中宁微电子8英寸芯片生产项目协调领导小组”；2004年宁波市人民政府办公厅“关于印发2004年政府工作报告主要任务分解的通知”中，中宁微电被列为重点细化项目：当年4月要破土动工，年底要完成大部分土建工程以及部分设备采购。到了2005年9月，由于融资不顺，中宁微电子项目偃旗息鼓，李康智也回到台湾担任光罩公司台湾鸿准的总经理。
 
2005年随着江丰电子超高纯度溅射靶材基地的落户，才使宁波避免出现集成电路发展真空期。
 
2014年随着《推进纲要》的发布实施，宁波市为深入贯彻落实《推进纲要》，提出了“芯港小镇”的建设规划。据悉，作为国内首个特色工艺基地、全国唯一集成电路特色小镇，芯港小镇将以宁波芯空间集成电路产业园为核心，下设宁波集成电路制造基地、宁波集成电路材料基地及国家科技部02专项基地等特色项目，打造全国芯片重镇。力争在高压模拟、射频前端、特种半导体技术制造和设计服务等多个领域填补国内产业链的空白。
 
2016年6月，中芯国际和宁波市达成战略合作协议，共同建设高压模拟及特色工艺集成电路产线，总投资超百亿元。在完成对宁波日银IMP所有产品及工艺的知识产权以及生产设备的收购后，项目于2018年3月正式启动首条8英寸产线N1的建设，仅仅8个月就完成设备的安装调试，于11月正式投产，并进行第二条8英寸产线N2的建设。。
 
N1产线的投产，这是宁波历史上第一条8英寸产线，标志着宁波市的集成电路产业进入了快速发展阶段。
 
中芯宁波技术定位于国内产业布局相对薄弱的高压模拟、射频前端和光电集成等特种芯片领域，采用“专业化晶圆代工（Foundry）与定制化产品代工（VODM）”商业模式，坚持自主工艺，到力于成为具有国际先进水平的特种工艺晶圆制造代工及专业模拟集成电路设计服务厂商。
 
随着中芯宁波项目的落地，小镇也吸引了大批相关配套项目落户，包括安集微电子化学机械抛光液项目和南大光电“ArF光刻胶”产品大规模生产线项目。
 
五、绍兴“芯”澎湃
 
绍兴是浙江集成电路产业的发源地，前文提到的华越是浙江集成电路产业的芯火种。1990年代在和无锡竞争908工程基地时，绍兴不幸出局，错失一次提升城市地位的关键机会。此后，绍兴在集成电路产业发展中没有更多声音。
 
2014年国家发布《推进纲要》，绍兴“芯”又再次开始启动。
 
2018年3月，中芯国际和绍兴市举行8英寸晶圆制造线签约仪式，项目首期投资58.8亿元人民币。项目主要面向微机电（MEMS）和功率器件集成电路领域，专注于晶圆和模组代工；二期将引入晶圆级封装和模组封装，建设并形成一个综合性的特色工艺基地，快速占据国内市场领导地位。
 
2018年5月18日，8英寸项目一期厂房举行奠基仪式；2019年6月19日，主体工程结顶；9月开始设备安装调试，有望年底实现生产线的试运行；预计2020年3月正式投产。
 
以中芯绍兴项目为契机，绍兴市提出打造“集成电路小镇”的发展规划，计划到2022年小镇形成200亿产值，到2025年小镇形成500亿产值，成为国家级集成电路产业园示范区。在晶圆制造方面，以中芯国际集成电路8英寸生产线项目为载体，大力发展以微机电系统、功率器件为主的特种工艺晶圆制造，到2022年，产值达到50亿元，目标建成国内微机电和功率集成系统制造中心；在集成电路设计方面，依托北斗导航产业园等平台，重点发展面向无线通信、物联网、新能源汽车、消费电子等集成电路设计产业并与应用市场接轨；到2022年，产值达到25亿元，目标建成全国集成电路产业设计基地；在半导体设备制造方面，硅片设备、刻蚀设备、量测设备、封测设备等集成电路专用装备实现规模化商用，到2022年，产值达到120亿元，目标建成全国半导体设备制造中心；在集成电路封装测试方面，重点聚焦晶圆凸块、晶圆级封装等先进技术，建立国内领先的先进封测生产线和封装技术研发中心。
 
六、结语
目前浙江省已经形成了涵盖设计、制造、封装测试、装备材料的全产链格局，但还是处于初步阶段，产业链实力相对薄弱，存在企业规模较小、高端人才欠缺等问题。
浙江要想成为集成电路大省，想要真正在打造“中国芯”的道路上，承担更多责任，还必须进一步健全产业链、持续提升竞争力。希望浙江沉下心来，打造国之利器。